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蒸發(fā)鍍膜儀的作用與功能特點(diǎn)
日期：2026-03-03 12:34
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摘要：
蒸發(fā)鍍膜儀是一款高真空的蒸發(fā)鍍膜儀，特別適合蒸鍍對(duì)氧較敏感的金屬膜（如Ti、Al、Au等），也可蒸鍍各種氧化物材料。本機(jī)設(shè)有4個(gè)蒸鍍加熱舟，且每個(gè)蒸鍍舟都帶有擋板。若更改部分配置也可實(shí)現(xiàn)對(duì)有機(jī)材料的蒸發(fā)鍍膜，可滿足發(fā)光器件及有機(jī)太陽(yáng)能電池方面的研究要求，是一款鍍膜效果理想且性價(jià)較高的實(shí)驗(yàn)設(shè)備。
蒸發(fā)鍍膜儀功能特點(diǎn)：
真空控制單元全部集合在一個(gè)控制盒內(nèi)。
采用獨(dú)立的蒸鍍電流控制器，操作方便快捷。
真空腔體設(shè)有1個(gè)KF40旁抽閥（直接與前級(jí)機(jī)械泵相連，方便快速取放樣品，提高效率）、1個(gè)CF150閘板, 閥（直接與分子泵相連）、1個(gè)KF16法蘭（安裝電阻規(guī)）、5個(gè)CF35法蘭（1個(gè)安裝電離規(guī)，4個(gè)備用，便于,安裝其他設(shè)備）。
在腔體底部配有5個(gè)水冷電極，可支持4個(gè)蒸鍍加熱舟。
4個(gè)蒸鍍加熱舟上方配有獨(dú)立的可移動(dòng)擋板，有效地避免蒸發(fā)時(shí)相互污染。
樣品臺(tái)安裝在腔體的頂部。
腔內(nèi)可裝高分辨率的薄膜測(cè)厚儀，精度為10?。
可使用循環(huán)水冷機(jī)。