名稱

四英寸同步加熱防腐勻膠機

型號

TN-SPC4-E-H

特點

• 體選用PTFE(聚四氟乙烯) 可用于含HF H3PO4 的液體
• 樣品臺 鍍金銅 導熱性好
• 陶瓷加熱環 加熱 RT~200℃
• 排液管和廢液罐，方便客戶收集廢液，有效防止腐蝕性液體飛濺到環境中

技術參數

• 電源 AC220V 50Hz
• 腔體材質 PTFE(聚四氟乙烯)
• 可用于含HF H3PO4 的液體
• 上蓋 PVC （聚氯乙烯，方便觀察涂膜狀態）
• 樣品臺 鍍金銅 導熱性好
• 基片尺寸 直徑≤4 英寸（100mm）
• 加熱方式 陶瓷加熱環
• 工作溫度 RT~200℃
• 轉速 0-3000RPM
• 轉速分辨率 1RPM
• 操作方式 7寸高清LCD 觸控屏
• 滴膠方式 手動滴膠，在旋涂過程中可以提供液體
• 排液管和廢液罐 PTFE （聚四氟乙烯）
• 勻膠曲線 每條曲線5段，共可儲存5條曲線
• 真空吸盤 鍍金，3片直徑分別為10mm,25mm,55mm
• 真空泵 無油泵 抽速 50L/min
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